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スパッタの理論 I 非晶質のスパッタ収量と多結晶ターゲット

1969·1.966 Zitationen·Physical Review D

1.966

Zitationen

Autoren

1969

Jahr

Abstract

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1988 · 2.757 Zit.

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2003 · 1.419 Zit.

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